1. 气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。气体纯度大于或等于99.9999%的气体管道应采用EP级不锈钢管（BA管经电化学抛光→EP；BA级适合纯度≤99.999%的气体管道）。
2.管道与设备的连接段宜采用金属管道。若为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管（PTFE管、特氟龙管）、聚氯乙烯管（PVC管），不得采用乳胶管。3. 氢气管道不得采用铜质材料，除氢气管道外的气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。氢气和氧气管道所用的附件和仪表应采用氢气和氧气介质的专用产品。4. 阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料，填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5. 气体管道中，法兰垫片的材质应依管内输送的介质确定。
6. 进入谱仪室的气体主管道上宜设有总阀门，应安装在房间内明显位置，各路支管沿实验台功能柱铺设，并应就近设置二级减压阀和压力表。7. 谱仪室管路宜由气瓶间进入室内，室内总管线应通过稳压阀分向每一台仪器。在管路设计时宜预留适当的管路。
8. 用气终端阀门可根据需要选用球阀、针阀、隔膜阀、闸阀等产品。9. 应依据用气量及用气功能需求，选择一级减压或自动切换系统。
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